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无尘室的分类

源头:无锡必威体育app手机污染配置有限公司作者:无锡必威体育app手机网址:http://www.fluidaxis.com/欣赏数:438 

1. 乱流式:气氛由空调机箱经风管和洁净室内的气氛过滤器进入洁净室,并由洁净室内的回风柱或高架地板回风。气流是呈不端正的乱流或涡流外形。此型式妥当于洁净室等级为:1000-100000


2.层流式:气氛气流活动成一匀称的直线形,气氛由得救率的过滤器进入室内,并由高架地板或两侧回风柱回风,此型式妥当于级别相比高的洁净室

3.复合式:复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之气氛。洁净隧道以HEPAULPA过滤器将制程地域或变乱地域100%得救使洁净度等级提高至10级以上,可节流陈设运转用度。此型式需将作业职员之变乱区与产品和呆板维修予以隔绝,以抑制呆板维修时影响了变乱及风致,ULSI制程少数采取此种型式


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